三氯化鐵的蝕刻原理
隨著電子技術的發展,越來越需要許多幾何形狀復雜、精密度要求高而機械加工難以實現的超薄形工件。而照相腐蝕(或稱金屬蝕刻)方法卻易達到部件平整、無毛刺、圖形復雜的要求,且加工周期短、成本低。它的化學原理是利用三氯化鐵水溶液作為腐蝕劑與金屬反應:
2FeCl3+ F e= 2FeCl2
2FeCl3+ C u= CuCl2+ 2FeCl2
在氯離子和氧化劑共存的條件下就可以發生金屬腐蝕。 FeCl3作為一種較強的氧化劑,其腐蝕作用取決于 Fe3++Fe → Fe2+反應的氧化還原電位( 0.77V ),加之溶液中含有大量的氯離子,且 PH 值低、酸性強,所以對金屬有強烈的腐蝕傾向。由腐蝕反映原理可知,三氯化鐵隨著反應進行, Fe3+離子濃度越來越低,而 Fe2+離子濃度越來越高。
一般經驗數據表明:在三氯化鐵溶液中的 Fe2+離子濃度超過一定量時,腐蝕劑對金屬腐蝕速度就顯著下降,腐蝕質量變差,此時就需要更新。若經常更換腐蝕溶液,一則對環境產生污染,二則造成浪費,提高產品成本,如果能把 Fe2+氧化再生就可能解決這些問題。
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